ASML、先進リソグラフィー装置に進展

半導体機器で欧州最大手のASMLホールディング(オランダ)が取り組む先進リソグラフィー装置の開発に、進展があったもようだ。実用化されれば、より小型で高速の新世代半導体チップの製造に用いられる。ロイター通信が2月28日伝えた。 リソグラフィーは、ウエハーに感光性樹…

関連国・地域: オランダアジア米国
関連業種: IT・通信


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