ベルギー
ＩＴ
2015/05/21（木）
東京エレクトロン、ｉｍｅｃと銅配線で実証試験
半導体機器大手の東京エレクトロン（東京都港区）は20日、ナノ・エレクトロニクスの研究を手掛けるベルギーのｉｍｅｃと共同で、銅配線の信頼性向上に向けたパターニングスキームの電気的優位性を実証したと発表した。
両社は今回、直接エッチングする技法を採用。これにより従来の…
関連国・地域：
ベルギー／アジア
関連業種：
電機／化学／その他製造／ＩＴ・通信
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