半導体研究imec、技術開発に進展

ベルギーの半導体国際研究機関imecは7日、半導体製造装置で欧州最大手のASMLホールディング(オランダ)と共同で取り組む先進リソグラフィー技術の開発に進展があったと発表した。ASMLが開発した高開口数(NA)極端紫外線(EUV)リソグラフィー装置を使って、商…

関連国・地域: ベルギーオランダアジア米国
関連業種: IT・通信


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