三井化学、ASMLとEUVペリクル生産へ

三井化学は5月31日、半導体機器で世界最大手のASMLホールディング(オランダ)と、極紫外(EUV)ペリクル事業のライセンス契約を締結したと発表した。山口県に有する岩国大竹工場内に生産設備を新設し、世界に先駆けてEUVペリクルを商業化する。 今回の契約に基づき、…

関連国・地域: オランダアジア
関連業種: 化学その他製造建設・不動産


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