日立ハイテク、芬企業と半導体装置を共同開発

日立ハイテクノロジーズは30日、原子層推積(ALD)生膜装置を手掛けるフィンランドのピコサン(Picosun)と、プラズマを利用したALD装置の共同開発を行うと発表した。両社の強みを生かし、より高性能な半導体デバイスの製造を可能にする装置の開発を目指す。 日立ハイテクの…

関連国・地域: フィンランドアジア
関連業種: その他製造IT・通信


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